MEMS傳感器分別有哪些類型呢?
發(fā)布時間：2022年03月23日 17時20分41秒
次瀏覽MEMS傳感器種類繁多，主要的MEMS傳感器包括運動傳感器、壓力、麥克風、環(huán)境、光傳感器等。其中運動傳感器可分為陀螺儀、加速度計、磁力計等，那么MEMS傳感器分別有哪些類型呢?下面就由偉烽恒小編為大家介紹以下幾個類型吧。
1、MEMS運動傳感器
MEMS運動傳感器主要有加速度計、陀螺儀、磁力計三大類，加速度計和陀螺儀可以集成為六軸慣性傳感器;磁力計和加速度計集成為電子羅盤(e-compass)，加速度計、陀螺儀和磁力計可集成為9軸傳感器。 MEMS陀螺儀是通過陀螺儀的核心原理科里奧利力測角速度的;MEMS加速度計可以感知任意方向上的加速度。MEMS磁力計通過測試磁場強度和方向可以定位設備的方位。 慣性傳感器(加速度計+陀螺儀)廠家有：意法半導體(ST)、旭化成微電子(AKM )、應美盛(InvenSense)、羅伯特.博世等。 電子羅盤(磁力計+加速度計)廠家有：旭化成微電子(AKM )、雅馬哈(Yamaha)、阿爾卑斯(Alps Electric) 、美新半導體(MEMSIC)(2016年7月被華燦光電收購)等。
2、MEMS麥克風
MEMS麥克風在消費電子、汽車、醫(yī)療等領域廣泛的應用。目前幾乎每部智能手機至少使用一個MEMS麥克風，高端的智能手機甚至使用三個麥克風，分別用于語音采集、噪音消除、改善語音識別，而iPhone 6S已經(jīng)采用了4個MEMS麥克風。在物聯(lián)網(wǎng)的時代，大量的物聯(lián)網(wǎng)設備也將使用MEMS麥克風。蘋果iPhone 5S和5C采用兩顆樓氏電子(Knowles)、一顆是瑞聲科技(AAC)的MEMS麥克風。
3、MSME壓力傳感器
壓力傳感器主要用于檢測壓力，根據(jù)量程范圍可分為低壓、中壓、高壓壓力傳感器。MEMS壓力傳感器則屬于低壓傳感器，主要檢測原理有硅電容式和硅壓阻式。 汽車和醫(yī)療是MEMS壓力傳感器最大的應用領域。與MEMS慣性傳感器相比，目前MEMS壓力傳感器在消費電子與移動領域的應用不是特別廣泛，主要包括潛水與運動手表、計步器和徒步高度計，部分應用于飲水機、洗衣機、太陽能熱水器等家電產(chǎn)品充當水位傳感器。未來智能手機、平板電腦可能集成MEMS壓力傳感器用以檢測大氣壓，或充當高度計以支持室內(nèi)定位服務。
4、MEMS環(huán)境傳感器
MEMS濕度傳感器在工業(yè)控制、氣象、農(nóng)業(yè)、礦山檢測等行業(yè)中得到了廣泛的應用。MEMS氣體傳感器主要用于檢測目標氣體的成分、濃度等。 還有森斯特(北京)電子科技有限公司(Nenvitech)、深圳市戴維萊傳感技術開發(fā)有限公司、武漢四方光電科技有限公司、速麗德(Solidsense)、城市技術(CityTechnology) 等。
5、MEMS生物傳感器
MEMS生物傳感器目前處于發(fā)展初期。MEMS生物傳感器是利用生物分子探測生物反應信息的器件，被列為新世紀五大醫(yī)學檢驗技術之一，是現(xiàn)代生物技術與微電子學、化學等多學科交叉結合的產(chǎn)物。未來MEMS生物傳感器在醫(yī)學、食品工業(yè)、環(huán)境監(jiān)測等領域具有廣闊發(fā)展空間。
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